天津市西马机电设备销售有限公司

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EH系列

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概述

防爆型机械增压泵已经过鉴定,可以在潜在易爆气体环境中使用。
EH250C 机械增压泵已经过鉴定,可用于 CSA Division 1 区域、气体 Class I、Group C D 和灰尘 Class II Group F G、温度 Class T3C。泵的温度分类基于在零流量、低于 10 mbar (1 x 103 Pa) 的临界前级压力下保持的泵出气口压力。
防爆型机械增压泵可能配备防爆型电机,或作为防爆型系统的一部分供货。请咨询 Edwards。

技术数据

容积(工作容积)
50Hz310 m3h-1/185 ft3min-1
60Hz375 m3h-1/220 ft3min-1
使用后备泵时的有效抽取速度
E1M40 或 E2M40240 m3h-1/141 ft3min-1
E1M80 或 E2M80274 m3h-1/161 ft3min-1
泵的压差
50Hz0-180 mbar/0-140 Torr
60Hz0-150 mbar/0-115 Torr
入口连接ISO63
出口连接ISO40
转速 ‡
50Hz0-2900 rpm
60Hz0-3500 rpm
连续入口操作压力0-1000 mbar/0-760 Torr
较大出口压力1000 mbar/760 Torr
推荐的后备泵GV80,E1M/E2M40,E1M/E2M80
电源电压,3 相
50Hz220 – 240V/380 – 415V
60Hz230V/460V
马达功率
碳氢化合物2.2kW/3hp
PFPE2.2kW/3hp
ATEX2.2kW
防爆型3 相
环境温度范围
操作5 至 40°C/40 至 104°F
存储-10 至 80°C/14 至 176°F
较大操作湿度90% RH
推荐用油
标准型Ultragrade 20
PFPE 版本Fomblin YVAC 16/6
油容量
联结器箱1.5 升/1.6 qt
轴杆封口储油器0.125 升
重量*69 kg/152 lb

功能和优势

  • 适用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的压力范围下、需要超过 3000 m3h-1/1776 ft3min-1的高抽速的应用场合。
  • 它可在相对较低的压力环境下表现出更高的可靠性。
  • EH 泵具有高质量的无油泵送机械装置。这可提供:
    • 安静的无振动运行。
    • 牢靠且防腐蚀。
    • 先进的轴封技术,处理舱中不会出现油污染
  • 防腐型泵送机械装置采用高等级铸铁制造。
  • 经验证的轴封布置可确保没有油进入泵送定子,并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门,因此可将维护要求降到较低。
  • 轴封的设计经过优化,可确保润滑剂无法进入泵送机械装置中。这可在需要较高标准清洁程度的应用中保持增压泵性能。此外,这可防止在公差非常严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。
  • 动态平衡的转子和精密研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小,而这些特点正是先进技术设备的制造商所需要的。

  • 应用

    • 半导体制程
    • 真空蒸馏
    • 真空包装
    • 钢脱气
    • 薄膜覆层
    • 真空冶金
    • 低密度风洞
    • 空间模拟
    • 真空浸渍
    • 油干燥和脱气
    • 制药冷冻干燥
    • CO2 激光


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